Fabmann può fornire obiettivi sputtering per un film sottile e sono disponibili monoblocco o legati con dimensioni e configurazioni target planare fino a 800 mm. Possiamo anche fornire una fabbricazione personalizzata come perforazione del foro, filettatura, smussatura e scanalature. I nostri obiettivi di sputtering di rame (Cu) (Cu) sono disponibili obiettivi di sputtering di rame (Cu) (99.9999%) per progetti e configurazioni diversi che sono compatibili con tutte le pistole standard tra cui dimensioni circolari, rettangolari, anulari, ovali, rotabili (rotanti) e personalizzate.
Processo di produzione
Fabmand Utilizza una soluzione di produzione avanzata tra cui cristallizzazione, stato solido e altri processi di purificazione ultra elevata come la sublimazione per creare obiettivi di rame personalizzati di alta qualità e il rigoroso controllo dei processi di produzione è vitale per garantire l'alta qualità e normalmente ha seguenti passaggi:
√ Produzione di lingotti di rame ad alta purezza attraverso la raffinazione elettrolitica, lo scioglimento dell'induzione del vuoto e lo scioglimento del fascio di elettroni a vuoto.
√ La seconda fase è quella di far passare il lingotto di rame attraverso la forgiatura calda, il trattamento termico, la forgiatura a freddo e il trattamento termico in sequenza per ottenere spazi vuoti pretrattati di rame.
√ Il vuoto di rame pre-trattato viene quindi sottoposto a rotoli caldi, trattamento termico, laminazione a freddo e trattamento termico in sequenza per ottenere un bianco target di rame.
√ Rimuovere la pelle degli spazi vuoti bersaglio di rame.
√ Fai un lavoro di lavorazione personalizzato per ottenere le dimensioni finali e la finitura superficiale desiderate ed è necessario spruzzare il refrigerante per evitare che il target del tubo di rame si deformi a causa della stress di lavorazione.
√ Dopo la macinatura e la lucidatura, si ottiene il materiale target di rame finito.
Test e controllo della qualità
Controllo dimensionale del target di rame personalizzato
Fabmann esegue rigidi processi di controllo della qualità per tutta la nostra consegna e tutti i nostri obiettivi di rame sono analizzati da varie apparecchiature avanzate come la fluorescenza a raggi X (XRF), la spettrometria di massa a scarica luminosa (GDM) e il plasma accoppiato induttivamente (ICP). La nostra ispezione prevede anche una serie di test come controllo della struttura metallografica, analisi di ossigeno/idrogeno per verificare la purezza e la composizione del bersaglio.
Dimensione del prodotto
√ Dimensione personalizzata con lunghezza massima a 3, 000 mm
√ da 2 "a 8 '', spessore: 0. 125" & 0. 250 ''
√ 1 ", spessore 0. 125"
√ l'imballaggio sotto vuoto
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